液中プラズマによる化合物半導体結晶の形成法の開発

実施期間：2009 - 2009
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院理工学研究科, 准教授 )
研究概要：

本研究では、液中プラズマ化学蒸着法を用いて、従来では大がかりな真空プロセス装置を用いて行われてきた化合物半導体結晶の形成を、安全で簡単な装置によって、形成することを目標とする。液中プラズマ化学蒸着法を用いた時の化学結合における結合電子の授受を決定し、優先する化学反応から順に一連のプロセス反応を決定し、設計を行う。その液中プラズマプロセスを用いて高純度化合物半導体の形成実験を行い検証する。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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