電気・光物性を利用した高速水素ガスセンシング薄膜材料の開発

実施期間：2012 - 2013
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 基礎工学部, 准教授 )
研究概要：

ゾル-ゲル法により作製したPt/WO3薄膜の「電気・光物性」を利用した水素センサにより、大気中で水素濃度100ppmから爆発域である4%までの定量を可能とした。電気物性を利用したセンシングでは希薄濃度である100ppmの水素濃度で約1ケタの電気抵抗変化を実現し、従来の水素センサと比較して高い精度での定量を可能とした。また、光物性を利用したセンシングでは膜厚と測定温度を変えることで高濃度水素から希薄濃度水素までの定量を可能とすることを明らかにした。今後は電気・光物性を同時に測定することを可能としたシステムを構築することで、高速かつ高性能水素ガス検知センサの実現が期待できる。

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研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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