研課題
J-GLOBAL ID：202104008972453736
研究課題コード：08062578
超高速ナノインプリントリソグラフィ技術のプロセス科学と制御技術の開発
体系的課題番号：JPMJCR0845
実施期間：2008 - 2013
実施機関 (1件)：
研究代表者：
(
, 高度産業科学技術研究所, 教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJCR0845
研究概要：
次世代微細加工技術としてナノインプリント技術が注目されていますが、集積回路応用にはスループット、CDなどの課題があります。その解決には、ナノインプリントにおける材料・プロセスの科学的な解明と画期的な手法の提案が求められています。本研究課題では、実用性の高いナノインプリントリソグラフィに向けて材料・プロセス技術の開発を行います。
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上位研究課題：
次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究
研究所管機関：
報告書等：
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