研課題
J-GLOBAL ID:202104009013676137  研究課題コード:7700010086

高繰り返しパルス真空紫外レーザーの開発

実施期間:2006 - 2006
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 工学部, 教授 )
研究概要:
本研究は、光電界電離法を用いることによりこれまで実用的なレーザーが実現されていない真空紫外域(波長126 nm)において高繰り返しレーザーを開発することを目的としている。このアルゴンエキシマレーザーを具現化するために、高強度レーザーの高い光電界を用いる光電界電離法を用いてレーザー生成アルゴンプラズマの密度・温度を正確に制御する手法を導入し、効率のよいアルゴンエキシマ生成を可能とする。
タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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