半導体表面の原子配列とその電気伝導

体系的課題番号：JPMJPR91FA
実施期間：1991 - 1994
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 理学部, 助手 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJPR91FA
研究概要：

反射高速電子回折や新しい表面分析法(全反射角X線分光法)等を用いて、半導体表面・界面の構造・組成を原子レベルで解析・制御しながら、その電気的特性を測定し、ミクロな構造に敏感に依存した物性を追求します。

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研究制度：＞＞
上位研究課題：構造と機能物性
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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