研課題
J-GLOBAL ID：202104009166665720
研究課題コード：11101081
走査プローブ顕微鏡用導電性ナノプローブの開発
実施期間：2011 - 2011
実施機関 (1件)：
研究責任者：
(
, 大学院ソシオテクノサイエンス研究部, 教授 )
研究概要：
ナノ加工技術を駆使した導電性ナノプローブの開発を行った。集束イオンビーム堆積法により走査プローブの先端部に導電性のカーボンナノ構造体を形成し、走査プローブ顕微鏡用のナノプローブとすることに成功した。作製したプローブの特性評価をSiC上グラフェンを用いて行った。その結果、従来の導電性プローブと比較して格段に高い空間分解能を有するナノプローブが実現されていることが判った。これは、カーボン構造体のコア部分の径1nm程度の領域が導電体として機能していることを示している。実測した摩擦係数は小さく耐摩耗性にも優れることが期待される。また、プローブの作製に掛かる時間も短く(数秒)と短く低コストで高性能なナノプローブが実現できる可能性を示すことが出来た。
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タイトルに関連する用語
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