研課題
J-GLOBAL ID:202104009219136180  研究課題コード:09157596

ビスマス系セラミックス材料を用いたマイクロ圧力センサの開発

実施期間:2009 - 2009
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 中央研究所評価技術課, 研究員 )
研究概要:
キュリー点Tcの高い圧電体材料であるビスマス系セラミックスを用いて、高感度な圧力センサの開発を行うことが研究目的である。非鉛系のセラミックス材料のBi4Ti3O12はTcが800°C以上であり、代表的な圧電材料であるPZTよりも高く、高温の条件で使用される電子部品に応用可能である。また、セラミックス厚膜を作製したシリコン基板の裏面をエッチングすることによってキャビティ構造を形成して、センサの感度向上への影響も調査する。
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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