研課題
J-GLOBAL ID:202104009629969324  研究課題コード:09156991

X線量計測用高品質ZnO系電極膜の開発

実施期間:2009 - 2009
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 工学部, 教授 )
研究概要:
医療用の電離箱は、透明導電膜で被覆されたプラスチックの電極板3枚が空気層を介し二重構造を形成している。X線が通過すると電離効果で、電極板間に電流が流れ2つの電流でX線量が計測される。現在ITO透明導電膜が用いられているが、X線吸収量の低減化、高感度化等が要請されている。本研究では、X線吸収係数の小さな材料系で、低温成膜・高均一膜厚スパッタ技術を駆使し、電離箱用高品質電極膜の開発を行う。
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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