高品質な有機強誘電性薄膜作製における標準化技術の研究開発

実施期間：2008 -
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 准教授 )
研究概要：

今後急速な市場形成が見込まれる有機焦電型赤外センサ・圧電センサの作製技術確立と標準化を目的に、開発代表者らが考案した高速蒸着(HSD)技術を発展させて、強誘電性分子膜のナノ構造制御と生産リードタイム短縮を同時実現し、有機強誘電性薄膜センサ部材の供給体制を確立する。これら工法開発とプロセス標準化、モジュール化技術を通して、有機強誘電性薄膜センサの製造装置およびセンサ部材販売を担う大学発ベンチャーの設立につなげる。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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