窒素分子で表面を保護した無酸素チタンを利用した低活性化温度非蒸発型ゲッターポンプの開発

体系的課題番号：JPMJTM20BS
実施期間：2020 - 2021
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 物質構造科学研究所, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM20BS
研究概要：

真空中で加熱すると蒸発せずに反応性の高い表面が生成し(活性化)、残留ガスを排気する材料を非蒸発型ゲッター(NEG)と呼ぶ。活性化後のNEGは電源無しでH2O、H2、CO、CO2、O2などの残留ガスを排気するため、加速器、電子顕微鏡などで広く使われている。しかし従来のNEGには、活性化温度が200°C程度以上、製造コストが高いという欠点がある。我々は10-8 Pa台の超高真空下で無酸素Tiを成膜し、高純度N2を導入して活性なTi表面を保護すると、185°Cで活性化して残留ガスを排気することを見出した。そこで本技術を発展させ、100°C以下で活性化し残留ガスを排気する新しいNEGポンプを開発する。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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