研課題
J-GLOBAL ID:202104010441612630  研究課題コード:7700400422

プラズマイオンを用いた大型基材への窒化ホウ素(BN)薄膜の形成法

実施期間:1999 -
実施機関 (1件):
企業責任者:
タイトルに関連する用語 (6件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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