研課題
J-GLOBAL ID:202104010501271012  研究課題コード:11101321

新規超格子構造による表面プラズモン共鳴現象の創出と光CPUへの展開

実施期間:2011 - 2011
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 電気工学科, 准教授 )
研究概要:
本研究ではUBMS装置を用いて準安定な遷移金属酸窒化物薄膜の作製技術を確立し、それら誘電率の組成に対する依存性を明確にする。NaCl構造を有するCr-N-O薄膜においては、酸素含有量xが0 at. %の時に基板に対して垂直なz軸方向に格子が伸びており、xの上昇に従ってその格子歪みが増大したのはヤーン・テラー効果による。Cr-N-O薄膜を金属電極で挟んだコンデンサーでは、静電容量が酸素含有量の増加に従って10-6 Fから10-4 Fまで変化したことから誘電率を制御できていると言える。この他にもCrの一部分をAlで置換固溶したので、今後は全組成に対する誘電率の変化の幅を調査し、遷移金属酸窒化物媒質中に半金属超微粒子を分散させ光学特性を明らかにする。
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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