研課題
J-GLOBAL ID:202104010540701520  研究課題コード:12103748

長尺基板対応大画面プラズマスパッタシステム

体系的課題番号:JPMJTT12S6
実施期間:2012 -
実施機関 (2件):
企業責任者:
研究責任者: ( , 接合科学研究所, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTT12S6
タイトルに関連する用語 (2件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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