新摩擦制御法を用いたサブナノメートル位置決め精度を有する装置開発

実施期間：2009 - 2009
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 機械工学科, 助教 )
研究概要：

超精密位置決め装置では、微小変位領域での制御ゲインを極めて大きくすることが一般的である一方、高速移動時などでは振動的にならないためゲインは低目に設定をする。そのため、高速移動時などでは位置決め装置の性能を活かしきれず余分なタスク時間がかかってしまう。そこで、摩擦挙動をモデル化した非線形摩擦モデルを用いた制御方法を提案し、サブナノメートル精度と長ストローク・高速移動を両立させることを目的とする。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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