研課題
J-GLOBAL ID:202104010656124440  研究課題コード:7700009944

プラズマ異常放電検出用高感度プローブの開発

実施期間:2006 - 2006
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 電子情報工学科, 教授 )
研究概要:
本研究は、熊本県地域結集型共同研究事業において開発を行った独創的なプラズマ異常放電検出用窓型プローブを基に、エネルギーフィルター機構を付加した拡散荷電粒子のエネルギー分布差異検出による高感度化および、検出・増幅部を一体化内蔵して最適構造を具現化したRF周波数帯域(高調波成分信号)の信号検出ができる新たな機能を加えた高感度且つ広帯域の異常放電検出用新型プローブを開発する。その目標として、検出感度向上:10倍(SN 比54dB→74dB)、広帯域化:10倍(20MHz→200MHz)を目指す。
タイトルに関連する用語 (5件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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