研課題
J-GLOBAL ID:202104010725227213  研究課題コード:7700108210

欠陥消滅機能を持つ半導体洗浄液の実用化研究

実施期間:2004 -
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 教授 )
研究概要:
従来の洗浄液の1/100以下の低濃度の成分で十分な洗浄能力を持ち、かつ半導体中の欠陥準位を消滅させる機能を併せ持つ安価な新洗浄液を開発する。本洗浄液の使用により、各種半導体デバイスの高性能化と低コスト化が同時に達成できるものと期待される。
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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