多人数教育用その場観察 MUST-SEM(Mobile Use See-Through SEM)の開発

体系的課題番号：JPMJSN08C9
実施期間：2008 - 2010
実施機関 (1件)：
企業責任者：
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN08C9
研究概要：

微細加工、ナノ加工の製造現場でのオンマシン評価用チャンバーレス超小型SEM をプロトタイプとして、小学校でも学習利用でき、野外での活用も可能なバッテリー駆動で、無線データ伝送を行い多人数が携帯型端末によって同時に観察できる「多人数教育用その場観察SEM(走査型電子顕微鏡)」を開発します。透明強化樹脂を極力採用したSeeThrough 構造にして、理科教育推進を目指します。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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