研課題
J-GLOBAL ID:202104011344532547  研究課題コード:7700116772

インラインで大口径ウエハを測定可能な高周波磁性薄膜評価装置の開発

実施期間:2012 - 2014
実施機関 (2件):
企業責任者:
研究責任者: ( , 大学院工学研究科, 教授 )
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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