金属キャピラリーを用いた原子ビーム生成方法の開発

実施期間：2009 - 2009
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院理学系研究科, 准教授 )
研究概要：

本研究は、金属キャピラリーを用いて、1イオンビームを電気的に中性化し、2ミクロンオーダのビーム径に絞り、3真空中での表面分析への応用や、4大気中での微生物照射を行うための技術開発を行うものである。電子線やイオンビームなどの荷電粒子などではなく、電気的に中性な原子ビームを照射することで試料の導電性に関係なく分析、改質できることが期待できる。金属を用いる理由は、10keV以下の入射エネルギーでは金属固体表面原子との1回散乱で100%近い中性化効率を期待できるからである。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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