研課題
J-GLOBAL ID:202104011386442629  研究課題コード:08069434

ポリイミド/CNT複合体の微細加工技術と電極・電子部品応用

実施期間:2008 - 2008
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 工学部 電気電子工学科, 助教授 )
研究概要:
本技術は耐薬品性や耐熱性に優れたポリイミドをナノインプリント技術と異方性エッチング技術により微細加工し、電極開口部にカーボンナノチューブ(CNT)とポリイミドの複合体を埋め込む技術を提供するものである。電界電子放出源として4V/μm 以下で1mA/cm2 を実現し、直径5μm のビアホールにおいて10Ω以下の立体配線を実現することを目標とする。
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

前のページに戻る