研課題
J-GLOBAL ID:202104011388101136  研究課題コード:07100029

LSI用3次元カーボン・アクティブ配線の開発

体系的課題番号:JPMJCR0746
実施期間:2007 - 2009
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 電子デバイス事業本部, 統括部長付 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJCR0746
研究概要:
配線抵抗の増大、大電流密度による信頼性劣化を抑えるためにグラフェンを用いた微細配線技術、およびグローバル配線に求められるリピータ機能等を持つアクティブ配線技術の開発を行います。
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
上位研究課題: 次世代エレクトロニクスデバイスの創出に資する革新材料・プロセス研究
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構
報告書等:

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