引張応力を持つシリコン薄膜の創製と高機能マイクロミラーデバイスへの応用

実施期間：2005 - 2005
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院工学研究科ナノメカニクス専攻 )
研究概要：

強い引張応力を持つシリコン薄膜を新しく導入して、マイクロミラーデバイスを多くのアプリケーションに適用できるよう性能アップする。主に実用化を阻んでいるのは以下の3問題である。?低電圧駆動で、かつ大きなミラー回転角を得ることが難しいこと、?ミラー回転角の高精度制御が難しいこと、?高速動作に適した、軽くて光の波長レベルで平坦なミラーの製作が難しいこと、本研究は直接には?と?を解決するマイクロミラーデバイスの試作と評価である。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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