研課題
J-GLOBAL ID：202104011595976924
研究課題コード：12102221
MEMS駆動用オンチップバッテリーの開発
実施期間：2012 - 2013
実施機関 (1件)：
研究責任者：
(
, 理工学部, 教授 )
研究概要：
本研究は、申請者らが2002年に発表した(Appl.Phys.Lett.81,5066(2002)) 100×200ミクロン平方並列構造リチウム2次電池を単一化しようとするものであり、シリコン基板内の300ミクロン平方、深さ1.6ミクロンの溝に、『ポリシリコン負極 / ポリメタル酸メチル樹脂(PMMA)固体電解質 / LiMn2O4正極』構造の単一構造電池を試作した。充電電流3 nA、放電電流10 pAに対し3.70 nAh/cm2の容量を有している。また、新しい正極材料としてLi8SiN4及びLi5SiN3を作成し、電池動作を確認した。本研究結果によってシリコンLSIに微小電池を埋め込むことによりMEMS(微小電気機械システム)駆動用電源の基礎を確立した。
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