UBMSによる超硬質Cr-N-O-M系薄膜の開発

実施期間：2012 - 2013
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 機械・電子・情報技術チーム, 主任研究員 )
研究概要：

UBMS法を用いて成膜したCr-N系皮膜のCrサイトにAlを、NサイトにOを固溶置換することによって膜の硬質化を目指した結果、Alが固溶置換していないCr-N-O系の皮膜では最大34GPaの高硬度を示し、酸素分圧1~2mPaにて成膜した皮膜では緻密な微細構造を呈していた。超硬基板との密着性向上を図るため、Cr、Al、Siの単層膜もしくはCrの多層膜で形成された中間層の挿入効果について検証した。アルミボール(A5052)による摩擦摩耗試験の結果、中間層を挿入していない皮膜の摩擦係数は0.79であったが、Siで中間層を形成した皮膜の摩擦係数は0.30まで減少し、良好な結果が得られた。衝撃荷重に対する密着性はCrを挿入したものが最も良好であった。

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研究制度：＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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