高効率で低コストな多結晶シリコンウェハプロセスの一貫した開発

実施期間：2012 - 2014
実施機関 (2件)： ,
企業責任者：
研究責任者： ( , 大学院工学研究科, 教授 )

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国立研究開発法人科学技術振興機構

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