電子顕微鏡観察用無損傷レーザー精密研磨装置

実施期間：2002 -
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( )
研究概要：

電子顕微鏡観察に必要な、ナノサイズの超精密薄片化試料を無損傷で作成するためのレーザー精密研磨装置の開発を行う。エキシマレーザーを固体物質表面に照射することによる量子効果原子剥離の原理を利用し、表面原子の原子結合を切断し原子面を一面ずつ剥ぎ取るため、無損傷で原子尺度の平滑な表面研磨が可能となり、電子デバイスや機能材料から構造材料に至るまで、ナノサイズ規模の材料開発への利用が期待される。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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