研課題
J-GLOBAL ID：202104012101940155
研究課題コード：12102684
高効率・高信頼性圧電MEMS振動発電素子の開発
実施期間：2012 - 2013
実施機関 (1件)：
研究責任者：
(
, 工学研究科, 教授 )
研究概要：
環境に存在する振動を電気エネルギーに変換するエナジーハーベスト技術が注目されている。発電方式としてエネルギー変換効率の高い圧電素子の利用、特に圧電薄膜を用いたMEMS振動発電素子の研究開発を実施した。本研究では、金属カンチレバー上に高い圧電特性を有する圧電薄膜を形成することで素子強度の向上とともに、金属材料の持つ高い破壊じん性をベースとした素子設計およびプロセス開発により高い発電性能を有するMEMS振動発電素子の実現を目的とした。素子化プロセスにおいては、中心課題となる単結晶基板上に作製した高性能圧電薄膜を微細加工した後、ステンレスカンチレバーにレーザーリフトオフによる転写技術に成功した。また、本技術を用いた試作素子で目標とした発電量を達成した。同時に、技術課題を見出し、発電量のさらなる向上や共振周波数低下のための設計指針も構築することができた。
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