超臨界プラズマ酸窒化ナノ微粒子生成装置の開発

実施期間：2013 - 2013
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 工学研究科, 准教授 )
研究概要：

超臨界流体化学気相堆積とプラズマ酸窒化が同一チャンバ内で同時に可能なプラズマ支援超臨界流体ナノ微粒子合成装置の構築に向け、超臨界プラズマ生成用電極を試作し、放電特性の評価を行った。具体的には、対向型電極構造などの各種電極構造を検討し、周波数60MHzのVHFならびにDCバイアス、パルスバイアスを印加して、低圧下およびCO2およびHe雰囲気下での放電特性を評価した。これらの知見を基に、超臨界下を含む高圧状態でのプラズマ形成と、超臨界プラズマを用いた酸窒化微粒子合成技術の開発を進めた。

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研究制度：＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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