ナノ材料精密成長のためのパルス変調ガス導入型高真空CVD装置の開発

実施期間：2009 - 2009
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 工学研究科, 准教授 )
研究概要：

本研究では、複数の原料ガスをパルス状に変調してリアクタ内に導入することを特徴とする高品質ナノ材料(カーボンナノチューブ:CNT)生成法の開発を行う。本方法では、CVDリアクタ内へのガス流量制御を従来方法よりも精密に行うことが可能である。これにより、各原料ガスの機能をより明瞭に発現させることができ、従来よりも高効率な精密CNTプロセスの構築が可能となる。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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