FIB 光イオン化ナノ質量イメージング装置の実用化開発

体系的課題番号：JPMJSN10C2
実施期間：2010 - 2012
実施機関 (1件)：
企業責任者：
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN10C2
研究概要：

本事業「機器開発プログラム」により開発した、ナノスケールでの観察・加工が可能で有機物、無機物共に質量分析イメージングできる装置を、大気汚染微粒子やナノスケール構造を有する有機ポリマー材料、有機薄膜太陽電池、鉄鋼粒界分析などに適用し、ユーザーと緊密に連携して実用性を実証します。既存のプロトタイプ機を改良しつつ実用化に必要な専用高輝度レーザー光源の安定化とスペクトルデータベース、自動測定機能などユーザーインターフェースを拡充し、市販可能な装置を完成させます。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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