多ピクセルTES 型X 線検出器の開発

体系的課題番号：JPMJSN10B9
実施期間：2010 - 2012
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 大学院工学研究院, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJSN10B9
研究概要：

高いエネルギー分解能を持ち、ほぼ全元素からの特性X線ピークを分離した測定が可能なTES型X線検出器の多ピクセル化に関する開発を行います。本開発は、検出器のデバイス、実装技術、X線集光技術を含んでいます。本開発により、分析電子顕微鏡用にこれまでに開発した単ピクセルTES型X線検出器(500cps)に対して4倍程度の計数率を達成することが可能となります。このことで、走査透過型電子顕微鏡でナノスケールの高精度な元素分布マップの取得が期待されます。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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