研課題
J-GLOBAL ID:202104012569513432  研究課題コード:19197152

高品質複合フッ化物単結晶を用いた色消しの屈折型深紫外対物レンズの開発

体系的課題番号:JPMJTR1921
実施期間:2019 - 2020
実施機関 (1件):
企業責任者: ( , コアテクノロジー事業部, シニアサイエンティスト )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTR1921
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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