研課題
J-GLOBAL ID：202104012596081226
研究課題コード：7700108430
ステイン法によるマイクロ光学素子の製造技術
実施期間：2004 -
実施機関 (1件)：
企業責任者：
研究概要：
近年、フォトニクスの分野で、マイクロオプティックス(微小光学)の重要性がますます増大している。マイクロオプティックスは、単にこれまでの光学系の縮小版というだけではなく大容量の情報の並列処理や画像情報処理などマクロな光学系では不可能な応用分野への展開が期待されている。マイクロレンズアレイはこれら画像情報処理デバイスにおいて、最も重要な素子の一つであるが、デバイスの高性能化のためには、一つ一つのマイクロレンズが精密な光学系を形成する必要がある。現在、マイクロレンズアレイの作製は、プレス成型法、イオン交換法、リフロー法、グレイスケールマスク法、インクジェット法などが提案されているが、いずれも、このような精密な光学系を形成し得るほど十分な精度を持つマイクロレンズアレイを低コストで生産するには至っていない。本研究は、ガラスの着色技術の1つであるステイン法と印刷技術を組み合わせた新規な手法を応用し、十分な精度を持つマイクロレンズアレイを低コストで生産することができる作製技術を開発する。
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