研課題
J-GLOBAL ID:202104013102925563
研究課題コード:19198795
ナノ領域電子回折による高精度立体形状計測法
体系的課題番号:JPMJTM19CM
実施期間:2019 - 2020
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
, 先端科学技術研究科, 准教授 )
DOI:
https://doi.org/10.52926/JPMJTM19CM
研究概要:
電子回折パターンの自動計測法及び逆空間への校正法の確立により、立体結晶表面の逆空間マップを高精度に作成する。立体デバイスの側面表面の表面結晶性や原子平坦性の評価技術を確立することを目的とする。
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