研課題
J-GLOBAL ID:202104013207357161  研究課題コード:19198872

ファインピッチ化に対応する高精度立体MEMSプローブ製造技術の確立

体系的課題番号:JPMJTM19CL
実施期間:2019 - 2020
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 理工学部, 准教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM19CL
研究概要:
本研究では,40 μm 以下のファインピッチに対応するLSI検査用のMEMSプローブの開発を行う.マイクロスケールの複雑な立体構造を実現するために,シリコンの多段構造の加工,ポリマーの高精度アライメント接合などの加工技術を確立する.
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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