研課題
J-GLOBAL ID:202104013207357161
研究課題コード:19198872
ファインピッチ化に対応する高精度立体MEMSプローブ製造技術の確立
体系的課題番号:JPMJTM19CL
実施期間:2019 - 2020
実施機関 (1件):
研究代表者:
(
, 理工学部, 准教授 )
DOI:
https://doi.org/10.52926/JPMJTM19CL
研究概要:
本研究では,40 μm 以下のファインピッチに対応するLSI検査用のMEMSプローブの開発を行う.マイクロスケールの複雑な立体構造を実現するために,シリコンの多段構造の加工,ポリマーの高精度アライメント接合などの加工技術を確立する.
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