ファインピッチ化に対応する高精度立体MEMSプローブ製造技術の確立

体系的課題番号：JPMJTM19CL
実施期間：2019 - 2020
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 理工学部, 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM19CL
研究概要：

本研究では,40 μm 以下のファインピッチに対応するLSI検査用のMEMSプローブの開発を行う.マイクロスケールの複雑な立体構造を実現するために,シリコンの多段構造の加工,ポリマーの高精度アライメント接合などの加工技術を確立する.

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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