研課題
J-GLOBAL ID：202104013280357765
研究課題コード：7700001358
ネオシリコン創製に向けた構造制御と機能探索
体系的課題番号：JPMJCR9981
実施期間：1999 - 2004
実施機関 (1件)：
研究代表者：
(
, 量子効果エレクトロニクス研究センター, 教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJCR9981
研究概要：
ナノ結晶シリコンの粒径と粒子間隔を原子スケールで制御した「ネオシリコン」は、粒子内での電子の局在化と粒子間の相互作用により、電子輸送、光放出、電子放出特性などにおいて、従来の単結晶やアモルファスを超える新物性が期待できる第3のシリコン材料です。デジタルプラズマプロセス、ラジカル窒化、化学アニーリング法などのオリジナル技術を駆使し「ネオシリコン」特有の機能を発現させ、将来の情報通信、エネルギ一、医療産業への応用につなげます。
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上位研究課題：
電子・光子等の機能制御
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報告書等：
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