研課題
J-GLOBAL ID:202104013280357765  研究課題コード:7700001358

ネオシリコン創製に向けた構造制御と機能探索

体系的課題番号:JPMJCR9981
実施期間:1999 - 2004
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 量子効果エレクトロニクス研究センター, 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJCR9981
研究概要:
ナノ結晶シリコンの粒径と粒子間隔を原子スケールで制御した「ネオシリコン」は、粒子内での電子の局在化と粒子間の相互作用により、電子輸送、光放出、電子放出特性などにおいて、従来の単結晶やアモルファスを超える新物性が期待できる第3のシリコン材料です。デジタルプラズマプロセス、ラジカル窒化、化学アニーリング法などのオリジナル技術を駆使し「ネオシリコン」特有の機能を発現させ、将来の情報通信、エネルギ一、医療産業への応用につなげます。
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
研究制度:
上位研究課題: 電子・光子等の機能制御
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構
報告書等:

前のページに戻る