次世代パワーデバイス用窒化ガリウム基板の超精密研磨技術の開発

体系的課題番号：JPMJTM17E8
実施期間：2017 -
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院先端科学研究部(工), 准教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM17E8

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研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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