新規コンポジット膜を利用した水素センサー及び水素選択透過膜の開発

実施期間：2003 - 2006
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( )
研究概要：

イットリウム(Y)などの希土類は水素化・脱水素化で電気抵抗率が大きく変化するため、水素センサーなどへの応用が考えられてきたが、実用になる耐酸化保護層がなかった。本研究では、新たな手法を用いて窒化珪素中にナノレベルのパラジューム粒子を分散させることに成功し、試作したSiN-Pdコンポジット膜は非常に高速に水素を透過することを見いだした。この膜は電気抵抗が高い、Pd量を抑えられる、希土類等との連続スパッタで水素センサーにできることなど、耐酸化保護層として多くの利点を示した。この膜を利用した水素漏れセンサーは優れた性能を示した。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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