高反転磁界特性を持つ高分解能な磁気力顕微鏡探針技術の研究開発

実施期間：2012 - 2013
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 理工学部, 教授 )
研究概要：

磁気力顕微鏡(MFM)の高性能化を目的に、市販MFM探針で得られる分解能の約3倍の高分解能(<7 nm)で1kOe以上の高磁化反転特性を持つMFM磁性探針の形成技術を検討した。 Si探針に高磁気異方性の磁性材料被覆を行って磁性探針を作製する手法を検討した。被覆膜として、(a)多層磁性膜、(b)規則合金薄膜、(c)準安定規則合金薄膜、および(d)従来から磁性探針作製に用いられてきたCo合金などの磁性膜を検討した。準安定規則合金膜のL11-CoPt膜被覆した探針で分解能7.7 nm, 反転磁界1.7 kOeを確認した。一連の磁性材料と探針特性の相関性を検討し、高分解能・高反転磁界特性を持つMFM磁性探針の開発指針を明らかにした。

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研究制度：＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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