ナノポーラスガラスの室温インプリントによる光学素子の実現

実施期間：2013 - 2013
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 工学研究科, 助教 )
研究概要：

無機材料の新しい微細加工技術として、ポーラスガラスのインプリントに注目し、サブマイクロスケールのインプリントの実現を目標として、研究を行った。一般的な分相性ポーラスガラスに対し、アルカリ処理、熱水処理を施すことで、従来よりもポロシティが高く、透明度の高いポーラスガラスの作製に成功し、その結果、室温大気雰囲気下のインプリントにより、100nmの回折格子構造を10nm程度の精度で転写することに成功した。紫外域から近赤外域をカバーする広い範囲で高い透過率を有することから、従来の樹脂ナノインプリントでは実現が困難であった、紫外域あるいは近赤外域用のサブ波長光学素子への応用が期待される。

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研究制度：＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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