研課題
J-GLOBAL ID:202104013692329030  研究課題コード:11101099

新型ロールコータによるインライン式フィルムプロセスの研究開発

実施期間:2011 - 2011
実施機関 (1件):
研究責任者: ( , 工学部, 教授 )
研究概要:
高密度のマイクロ波プラズマを組み込んだコンパクトな新しいロールコータを構築し、これを用いてタッチパネル用のITO/PET積層フィルムをインラインで作製する革新技術の実用化研究をおこなった。先ずPETフィルム表面の脆弱層をプラズマエッチングする独自技術を開発し、従来の中間接着層を用いることなく、ITO層との強い密着力を獲得し、耐久性を向上させることができた。さらに、大気に取り出すことなくITO膜をプラズマで加熱し結晶化を促進、その表面抵抗を下げることに成功した。 このように、従来のオフライン式に比べて今回開発したインライン式は大幅なコストダウン・生産性向上およびコンパクト化が可能であり、実用化の見通しが得られた。
研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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