研課題
J-GLOBAL ID:202104013733757301
研究課題コード:08003408
ペンシル型走査型プローブ顕微鏡の開発
実施期間:2004 - 2007
実施機関 (1件):
研究責任者:
(
, マテリアルサイエンス研究科, 教授 )
研究概要:
超高分解能走査型電子顕微鏡(SEM)の試料ホルダー内に収まるペンシル型の走査型プローブ顕微鏡(SPM)を開発・複合化する。SEMは「目」の役割を、SPMは「手」の役割を担う。『表面観察・評価装置』はもとより、『ボトムアップ型ナノテクノロジー・ツール』として広く利用できる装置として事業化を目指す。
タイトルに関連する用語 (3件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
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研究所管機関:
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