大型超精密ステージの駆動反力相殺用カウンターマスフリー制御技術の開発

実施期間：2006 - 2006
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 工学部, 助教授 )
研究概要：

半導体製造用超精密ステージは,搭載するウェハサイズの拡大とともに大型化している。これに起因しステージ可動部の制御反力から,精密ステージを搭載する除振台の振動問題が顕在化してきている。この制御反力相殺に,カウンターマスを装着し逆駆動する手法が現在の主流であるが,装置の大型・高コスト化は著しい。本研究では,位置制御系と力制御系で制御剛性が異なること,ならびにステージ駆動力情報とその動特性を利用し,除振台アクチュエータにより反力相殺のための力制御系を構成し等価的に“ステージ重心移動無し”の状態(重心位置制御系)を実現する。これにより物理的なカウンターマスを不要化する新しい制御技術の開発を行う。

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研究制度：＞＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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