大口径ガラス基盤の屈折率分布計測・検査装置の開発

実施期間：2012 - 2013
実施機関 (1件)：
研究責任者： ( , 学内共同利用施設等, 研究員 )
研究概要：

フィルター等の光学ガラス板の製品検査を目的とした屈折率分布計測法を開発した。大サイズの基盤を高速に測定する。生産現場に導入することを考慮し、光源と検出器を近接させた省スペースな計測器を構築した。2次元ロンキー格子を用いた軸外し微分干渉法を考案し、得られたタルボ像にフーリエ変換解析を施すことで、ワンショット、ミリ秒オーダーで屈折率分布を計測できる。球面波を用いて精度確認実験を行った結果、目標の1/4λよりはるかに良い1/30λの精度を実証した。50mm 角のガラス板をサンプルとして計測実験をし、1/100,000 以上の屈折率変化を確認した。今回は、製品化への基礎技術を確立することができた。今後は、実用化に向けた開発を行う。

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研究制度：＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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