研課題
J-GLOBAL ID：202104014123728233
研究課題コード：15657287
MEMS共振器構造を用いた非冷却・高感度・高速テラヘルツボロメータの開発
体系的課題番号：JPMJSK1514
実施期間：2015 - 2019
実施機関 (1件)：
研究責任者：
(
, 生産技術研究所, 教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJSK1514
研究概要：
MEMS両持ち梁共振器構造は室温でも数千程度の高いQ値を持つとともに、極めて小さな熱容量を有しています。本研究では、これらのMEMSの特徴を活かし、従来のテラヘルツ検出器の動作原理とは全く異なり、テラヘルツ光入射で誘起される発熱によるわずかな温度上昇を、MEMS両持ち梁構造の共振周波数のシフトとして高感度に読み取ることを原理とする新しい非冷却・高感度・高速なテラヘルツ検出用ボロメータを開発します。
タイトルに関連する用語 (3件)：
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テラヘルツ波新時代を切り拓く革新的基盤技術の創出
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