ワンショット・ナノレベル表面形状測定機の事業化

体系的課題番号：JPMJST2013
実施期間：2020 - 2022
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 大学院工学研究科, 特任教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJST2013
研究概要：

電子部品や機械部品などの表面凹凸や平坦度を、高分解能・大面積・ワンショットで測定可能な装置の開発を行う。スタンドアローン型装置の開発・製造・販売から、さらにインライン測定可能な装置の事業化を行うベンチャーの設立を目指す。

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研究制度：＞＞＞
研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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