多次元X線イメージングを活用した原子層機能デバイスの物性制御法探索基盤プロセスの構築

体系的課題番号：JPMJPR17NB
実施期間：2017 - 2020
実施機関 (1件)：
研究代表者： ( , 先端材料解析研究拠点/多元物質科学研究所, 研究員/助教 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJPR17NB
研究概要：

半導体デバイスやエネルギーデバイスへの応用が期待される、膜厚が1~数原子層程度の原子層物質では、基板との相互作用や欠陥などの環境要因が物性に顕著に現れます。本提案では、最先端の放射光分析技術とデータ科学による大規模スペクトルデータ解析技術を融合させて多次元X線イメージングを実現し、実デバイスの直接観測を通して、原子層物質の機能発現予測に不可欠な環境要因との相互作用データベースの構築を目指します。

, , , , , , , , , ,