研課題
J-GLOBAL ID：202104014785121290
研究課題コード：20336653
深紫外顕微鏡対物レンズの開発
体系的課題番号：JPMJTM20A5
実施期間：2020 - 2021
実施機関 (1件)：
研究代表者：
(
, 電子科学研究所, 准教授 )
DOI：
https://doi.org/10.52926/JPMJTM20A5
研究概要：
波長が短く物質と強く相互作用する深紫外光は、半導体デバイス評価、生体分子の可視化、光加工など産業に幅広い応用がある。しかし、深紫外領域で使える対物レンズは開口数(NA)の低いものしか市場になく、深紫外光技術の制約となってきた。その中で我々は反射型対物レンズの液浸化技術を開発し、NAが0.9の深紫外顕微鏡用対物レンズの試作に成功した。本開発ではNAを1.2まで高めた対物レンズの設計と試作評価を行う。これまで満足な対物レンズが利用できなかった深紫外技術に、小型で安価で使い易い顕微鏡用対物を提供し、高解像度顕微鏡や検査装置、分光分析装置、リソグラフィなど、ものづくりに貢献する新たな市場を創出する。
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