研課題
J-GLOBAL ID:202104014821086421  研究課題コード:17937660

大気圧プラズマ処理による低温ポリシリコン薄膜トランジスタの低リーク電流化

体系的課題番号:JPMJTM17AB
実施期間:2017 -
実施機関 (1件):
研究代表者: ( , 工学(系)研究科(研究院), 教授 )
DOI: https://doi.org/10.52926/JPMJTM17AB
タイトルに関連する用語 (4件):
タイトルに関連する用語
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研究制度:
研究所管機関:
国立研究開発法人科学技術振興機構

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