研課題
J-GLOBAL ID：202104014821086421  研究課題コード：17937660

大気圧プラズマ処理による低温ポリシリコン薄膜トランジスタの低リーク電流化

体系的課題番号：JPMJTM17AB
実施期間：2017 -
実施機関 (1件)：
東京農工大学

東京農工大学 について


研究代表者：
鮫島 俊之

鮫島 俊之 について

(
東京農工大学

東京農工大学 について

, 工学(系)研究科(研究院), 教授 )
DOI： https://doi.org/10.52926/JPMJTM17AB
タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
J-GLOBALで独自に切り出した研究課題タイトルの用語をもとにしたキーワードです
大気圧プラズマ

大気圧プラズマ について

, 
低温ポリシリコン

低温ポリシリコン について

, 
薄膜トランジスタ

薄膜トランジスタ について

, 
リーク電流

リーク電流 について

研究制度：
産学が連携した研究開発成果の展開

産学が連携した研究開発成果の展開 について

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研究成果展開事業

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地域産学バリュープログラム

地域産学バリュープログラム について


研究所管機関：
国立研究開発法人科学技術振興機構

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