低温焼き戻し鋼に対応したマイクロ波方式・超高速DLC成膜プロセスの開発

実施期間：2011 - 2013
実施機関 (2件)： ,
企業責任者：
研究責任者： ( , 大学院工学研究科, 准教授 )

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研究所管機関：

国立研究開発法人科学技術振興機構

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